Fabricación Y Caracterización De Películas De Sno2 Para Aplicación En Nanosensores De Monóxido De Carbono
...
Herrera B. | 2010-12-03
Presión, fuerza, humedad,
magnitudes eléctricas “resistencia, o te
cipales determinan la calidad y eficiencia de u
funcio
a determinada sustancia, adsorbida sobre el se
en la capacidad de discriminar especies de difere
ar sensor de forma similar.
Alta velocidad de reacción y detección.
: obtención de una misma respuesta cua
es análogas de detección.
sensor no sufre ningún cambio físico o químico e
adsorción, desorción, o reacció
(SnO2) es uno de los semiconductores que prese
ológico en sensores de gases. Por lo ta
de un material con aplicación a sistemas de detecció
semiconductor SnO2, para esto se propone depositar películas de
do técnica física de evaporación realizando un estudio teórico
síntesis y caracterización. La técnica mencio
trolada sustentan en co
e fabricaron y estudiaron películas de SnO2 por medio de l
fase de vapor PVD (Physical Vapor Depositio
. distintos espesores fueron depositadas sobre sustratos de
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uevos aplicación tecnológica
o gran interés está
con el propósito de
dustriales, domésticos.
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